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    根据Semi F21-1016标准中所定义,AMC分为MA (酸性物质 MB (碱性物质) MC (凝结物质) MD (参杂物质 MM (金属物质)五大类,其中包含了常见的NH3、SO2、H2S、VOCs、HF、HCI等。
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    在线询价 收藏产品 加入对比 查看联系电话 更新时间: 2025-05-30 09:20:42 浏览次数: 21 评价 联系我们时请说明是 化工仪器网 上看到的信息,谢谢!
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    根据化学品的特性,在国际半导体设备及材料协会在SEMIF21-1102的标准中将洁净室中的空气污染物分为四种,一是酸性污染物,包括盐酸、硝酸、硫酸、氢氟酸等,能够诱发硼污染;第二种是碱性污染物,主要是氨气,会造成保护层显影不良;第三种是可





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